מנשא דיסק גרפיט

תוך התמקדות בתחומים-מתקדמים כגון מוליכים למחצה, מעגלים משולבים וייצור שבבים, אנו מפתחים לוחות נושאות גרפיט של רקיקות- גבוהות, -שטוחות ויציבות- גבוהה. תוכנן במיוחד עבור תהליכי מפתח של פרוסות בגודל 2-12 אינץ' כולל שקיעה, תחריט, חישול והשתלת יונים, הם מרכיבי ליבה המבטיחים דיוק וקצב תפוקה של עיבוד פרוסות.

✅ טוהר גבוה במיוחד וטומאה נמוכה: עשוי מקוק מחט -טוהר גבוה, מעובד על ידי גרפיטיזציה בטמפרטורה גבוהה -3000 מעלות, תכולת אפר פחות מ-20ppm או שווה ל-20ppm, מבטל זיהום זיהומי מתכת של פרוסות ומבטיח יציבות ביצועי שבב;​

✅ דיוק שטוח במיוחד-: באמצעות עיבוד שבבי וטחינה מדויקים ב-CNC, שגיאת שטוחות קטנה מ-0.005 מ"מ או שווה ל-±0.005 מ"מ, חספוס פני השטח Ra פחות או שווה ל-0.2 מיקרומטר, מה שמבטיח כוח והולכת חום אחידה של פרוסות;​

הוא 50 KVA.

✅ חזקה נגד-חמצון ועמידות בפני קורוזיה: אימוץ טכנולוגיית ציפוי קרמי מיוחדת על פני השטח, עמיד בפני טמפרטורה גבוהה של 1200 מעלות וקורוזיה פלזמה, חיי שירות ארוכים פי 4-6 מלוחות גרפיט רגילים;​

✅ התאמה אישית: תמיכה בהתאמה אישית של גדלי רקיק שונים (2/4/6/8/12 אינץ'), חלוקת חורים ומפרטי עובי, תואם לציוד מוליכים למחצה שונים כגון CVD, PVD ומכונות תחריט.

תוך הקפדה על הסטנדרטים המחמירים של תעשיית המוליכים למחצה, אנו מיישמים בקרת איכות מעודנת לאורך כל התהליך מטיהור חומרי גלם, עיבוד דפוס ועד בדיקת מוצר מוגמר. אנו מספקים פתרונות צלחת נושאת גרפיט אמינים ויעילים עבור מפעלי מוליכים למחצה גלובליים, ומסייעים לשפר את תפוקת ייצור השבבים ויעילות הייצור.