אלקטרודות גרפיט מסוג UHP לתנורי ואקום הן גופי חימום מוליכים-יוקרתיים העשויים ממחט-בדרגה גבוהה-שחור בצורת פחמן שחור באמצעות תהליך הלחיצה האיזוסטטי ונתונים לגרפיטיזציה בטמפרטורה גבוהה במיוחד ולטיפול טיהור ואקום מעל 3000 מעלות. הם תוכננו במיוחד עבור מערכות חימום ואקום/אטמוספרה אינרטית הפועלות בתנאי לחץ גבוהים במיוחד (-צפיפות זרם גדולה או שווה ל-30A/cm²).
בהשוואה לאלקטרודות גרפיט רגילות של תנורי ואקום, מוצר זה משיג איזון מושלם של התנגדות-נמוכה במיוחד וחוזק מכני גבוה במיוחד, והוא מתאים לתנאי עבודה קיצוניים כגון תנורי קשת ואקום בלחץ גבוה במיוחד, תנורי ואקום העצמיים -תנורי ואקום. הוא נמצא בשימוש נרחב בתחומים הדורשים צפיפות וטוהר הספק קיצוניים, כגון הכנת מתכות עקשנות לתעופה וחלל, טיהור של חומרים תעשייתיים גרעיניים, צמיחת גבישים חד-צדדיים מוליכים למחצה, והתכה- בלחץ גבוה במיוחד של סגסוגות מיוחדות.
התכת קשת ואקום בלחץ גבוה במיוחד (-יישום ליבה למתכות חסינות לתעופה וחלל)
להמסת קשת ואקום בלחץ גבוה במיוחד של מתכות עקשנות כגון טיטניום, זירקוניום, טונגסטן ומוליבדן וסגסוגותיהם, אלקטרודות גרפיט UHP מספקות פתרון חימום יציב עם טמפרטורות הנעות בין 2500 ל-3000 מעלות. צפיפות הזרם יכולה להגיע ל-35A/cm² (לעומת 20A/cm² בלבד עבור אלקטרודות גרפיט רגילות), ויעילות ההיתוך מוגברת ב-50%. טכנולוגיית יצירת הלחיצה האיזוסטטית התלת מימדית מאומצת, המבטיחה מבנה פנימי אחיד וצפוף של האלקטרודה ללא כל פגמים פנימיים, ובכך נמנעת נזק לאלקטרודה הנגרם על ידי פריקה מקומית בתנאי קשת לחץ גבוה-.
עיצוב התנגדות השיפוע החדשני מבטיח שההתנגדות של חלק הליבה של האלקטרודה נמוכה כמו 5μΩ・m ב-1000 מעלות, ושיפוע ההתנגדות של השכבה החיצונית גדל ב-5%, ומשיג חלוקת זרם אחידה ושליטה מדויקת בשדה התרמי. הטוהר של חומר המתכת משופר ל-99.9999%, ועומד בדרישות של חומרי מפתח כגון להבי מנוע תעופה וחלל ורכיבי כור גרעיני.
מוליך למחצה יחיד-סיליקון אולטרה-טיהור התכה של אזור בלחץ גבוה ("מהפכת הטוהר" בתעשיית השבבים)
משרת טיהור התכה של אזור ואקום בלחץ גבוה במיוחד עבור פרוסות סיליקון בגודל 12-אינץ' ויותר גדולות יותר-. לאלקטרודות הגרפיט UHP יש התנגדות-נמוכה במיוחד (בטמפרטורת החדר פחות או שווה ל-12 μΩ・, ב-1000 מעלות פחות או שווה ל-5 μΩ・m) ומאפייני חדירות מגנטיים אפס, הימנעות מהפרעות אלקטרומגנטיות המשפיעות על צמיחת גביש סיליקון. מבנה אלקטרודה חלול מותאם אישית עם תעלות קירור מים יכול לשמור על טמפרטורת האלקטרודה יציבה מתחת ל-150 מעלות ב-3000 מעלות, עם עיוות תרמי של פחות מ-0.02 מ"מ, מה שמבטיח את סטיית הקוטר של גביש הסיליקון קטן מ-0.1 מ"מ.
קצב פליטת הגז הנמוך ביותר בסביבת הוואקום (＜3×10⁻⁹ Pa・m³/s) מבטיח שדרגת הוואקום בתוך הכבשן תהיה יציבה ברמת 10⁻⁷ Pa, תוך הימנעות מזיהום הפרוסים על ידי פחמימנים וזיהומי מתכת. תפוקת מכשירי המוליכים למחצה גדלה ליותר מ-99.5%, מתאימה לדרישות הייצור של שבבי תהליך מתקדמים של 7 ננומטר ומטה.
טיפול בחום ואקום בלחץ גבוה במיוחד של חומרים תעשייתיים גרעיניים (להבטחת ביצועי בטיחות)
טיפול בחום ואקום בלחץ גבוה במיוחד מוחל על חומרים גרעיניים-כגון מוטות בקרה וחיפוי דלק של כורים גרעיניים. אלקטרודות הגרפיט של UHP יכולות לעמוד בצפיפות זרם קיצונית של 40A/cm², לספק טווח טמפרטורות ניתן לשליטה של 1800-2200 מעלות, עם אחידות טמפרטורה של ±3 מעלות, מה שמבטיח תכונות מכניות עקביות ועמידות בפני קורוזיה של החומרים הגרעיניים. תהליך מיוחד להסרת בורון מאומץ, כאשר תכולת הבור באלקטרודות היא פחות מ-0.1ppm או שווה ל-0.1ppm, הימנעות משינויים בחתך ספיגת הנייטרונים של החומרים הגרעיניים ומבטיחה את בטיחות פעולת הכור הגרעיני.
עמידות קרינה סופר חזקה. לאחר חשיפה ל-10⁸ Gy של קרני גמא, שיעור שינוי ההתנגדות הוא פחות מ-2%, ושיעור שימור החוזק המכני הוא מעל 95%. הוא מתאים לסביבת הקרינה הקשה של התעשייה הגרעינית, עם חיי שירות של עד 1200 מחזורי כבשנים, מה שמפחית את עלות הייצור של חומרים גרעיניים.
ביצועי ליבה ותכונות מוצר
אטם חיבור משולש, אמין בתנאים קיצוניים: החיבור המשולש של חוט + משטח חרוטי + טבעת איטום מתכת מבטיח התנגדות מגע של פחות או שווה ל-3μΩ, עם ביצועי איטום ואקום המגיעים לרמת 10⁻⁸ Pa. הוא יכול לעמוד בלחץ צירי של 500kN ומתאים לתנאי לחץ גבוה במיוחד.-
הגנה על ציפוי מרוכב, חיי שירות ארוכים: ציפוי הננו SiC + TiN המרוכב משפר את עמידות החמצון ב-80%. קצב צריכת האלקטרודות בסביבת ואקום של 2500 מעלות הוא פחות מ-0.05g/cm²·h, וחיי השירות מגיעים ל-1000-1500 מחזורי תנור.
שירות תהליך מלא-מותאם אישית: טווח קוטר 50-1000 מ"מ, אורך 200-5000 מ"מ. ניתן לספק מבנים הניתנים להתאמה אישית כגון קירור מים חלולים, קטעים בעלי צורה מיוחדת וחוטים מיוחדים. מוצע פתרון נקודתי מבחירת חומר ועד התקנה והפעלה.
למה לבחור בנו
הצע פתרונות במיוחד עבור לקוחות של אלקטרודות גרפיט-בהספק גבוה
למה לבחור במוצרים שלנו
ייצור ברמת ואקום מקצועי-: עם ניסיון של 12 שנים בייצור אלקטרודות גרפיט לתנורי ואקום, יש לנו קו ייצור לטיהור בטמפרטורה גבוהה של 2800 מעלות-. המוצרים שלנו עברו הסמכות בינלאומיות כגון SEMI F47 ו-ASTM C695, ומתאימים לסביבות ואקום גבוה במיוחד של 10⁻⁶ אשה.
פתרונות מותאמים אישית: מצוידים במרכז עיבוד CNC בעל 5-צירים, אנו יכולים להתאים אישית אלקטרודות מיוחדות, מבני קירור ושיטות חיבור מיוחדות לפי שרטוטי עיצוב תנור הלקוח, תוך מתן שירות חד פעמי מתכנון ועד התקנה.
בקרת איכות- מלאה של תהליך: באמצעות ציוד בדיקה גרמני מיובא, אנו עורכים 12 בדיקות מקיפות על כל אצווה של מוצרים, כולל תכולת פחמן, ניתוח זיהומים, קצב פליטה והתנגדות. אסור למוצרים פגומים לצאת מהמפעל.
אחריות על חיי שירות מורחבים: באמצעות מבנה צפיפות שיפוע וטכנולוגיית ציפוי SiC, חיי השירות של המוצרים שלנו ארוכים ב-50% מהסטנדרטים בתעשייה, מה שמספק ערבות לאיכות של 800-תנור, ומפחית את תדירות ההחלפה והעלויות של הלקוח.
תגובה מהירה עולמית: יש לנו מחסנים בחו"ל בגרמניה, ארצות הברית ויפן. מפרטים סטנדרטיים נשלחים תוך 3 ימים, ומוצרים מותאמים אישית נמסרים תוך 7-15 ימים. 24-שעות תמיכה טכנית זמינה כדי לפתור בעיות עם מערכת החימום בתנור הוואקום.
| לֹא. | פריט בדיקה | UHP תנור ואקום גרפיט אלקטרודה תקן | שיטת בדיקה |
|---|---|---|---|
| 1 | חוֹמֵר גֶלֶם | קולה מחט נפט פרימיום + כבישה איזוסטטית | ניתוח חומרי פחמן |
| 2 | תוכן פחמן קבוע | גדול או שווה ל-99.999% | שיטת בעירה-בטמפרטורה גבוהה |
| 3 | צפיפות בתפזורת | 1.90 - 1.93 גרם/ס"מ³ | עקרון ארכימדס מתקדם |
| 4 | תוכן טומאה כולל | פחות או שווה ל-3 ppm (Fe, Ni, Cu פחות או שווה ל-0.5 ppm כל אחד; B פחות או שווה ל-0.1 ppm) | ICP-MS Ultra-זיהוי עקבות |
| 5 | צפיפות זרם מדורגת | גדול או שווה ל-30 A/cm² (מקסימום. 40 A/cm²) | בדיקת צפיפות זרם- גבוהה |
| 6 | טמפרטורת עבודה מקסימלית-לטווח ארוך | 2500 - 3000 מעלות (וואקום) | מבחן יציבות בטמפרטורה גבוהה במיוחד |
| 7 | קצב יציאת גז (2500 מעלות) | ＜5 × 10⁻⁹ Pa·m³/s | מדידת גזים בוואקום-גבוה במיוחד |
| 8 | התנגדות חשמלית (RT) | פחות או שווה ל-12 μΩ·m | שיטת דיוק בדיקה ארבע- |
| 9 | התנגדות חשמלית (1000 מעלות) | פחות או שווה ל-5 μΩ·m | מערכת בדיקת התנגדות-בטמפרטורה גבוהה |
| 10 | מוליכות תרמית (25 מעלות) | 160 – 180 W/(m·K) | מד מוליכות תרמית פלאש לייזר |
| 11 | מקדם התפשטות תרמית (25-1000 מעלות) | 2.8 × 10⁻⁶/מעלה | דילטמטר-בדיוק גבוה |
| 12 | חוזק כפיפה (2500 מעלות) | גדול או שווה ל-45 MPa | בדיקה מכנית בטמפרטורה גבוהה במיוחד.{{0} |
| 13 | חוזק לחיצה (2500 מעלות) | גדול או שווה ל-120 MPa | בדיקת דחיסת טמפרטורה- במיוחד |
| 14 | ציפוי פני השטח | ציפוי ננו SiC + TiN Composite (50-100μm) | מד עובי ציפוי |
| 15 | סוג חיבור | חוט + טבעת + טבעת איטום מתכת (הגנה משולשת) | מערכת איתור דליפות ואקום |
| 16 | טווח מידות סטנדרטי | קוטר: 50-1000 מ"מ; אורך: 200-5000 מ"מ | מכונת מדידת קואורדינטות תלת מימדית |
| 17 | חיי שירות (סביבת ואקום) | 1000 - 1500 מחזורים | בדיקת תנור ואקום בעוצמה גבוהה במיוחד{{0} |
| 18 | תוכן בורון | פחות או שווה ל-0.1 עמודים לדקה | ספקטרומטריית מסה פלזמה בשילוב אינדוקטיבי |
תגיות פופולריות: אלקטרודות גרפיט uhp עבור תנורי ואקום, סין אלקטרודות גרפיט uhp עבור תנורי ואקום יצרנים, ספקים, מפעלים
