המוצרים מותקנים באופן נרחב על אוגני גוף התנור, פיר ההולכה, רכיבי שדה החום, היקפית של כור ההיתוך, מבנה ההסחה ומפרק דלת התנור. על פי תפקידיהם, הם מסווגים לחמש קטגוריות: טבעות תמיכה, טבעות מנחה, טבעות איטום, טבעות בידוד חום וטבעות לחץ.
דגם מיוחד לתנורי ואקום: מתמקד בטוהר-גבוה במיוחד, פליטת גז נמוכה במיוחד ושיעור דליפה נמוך, מתאים לסביבות ואקום גבוה, ומבטל לחלוטין את זיהום הטומאה של חלק העבודה בתוך הכבשן;
מודל טמפרטורה כללי-גבוה: מתמקד בעמידות גבוהה במיוחד בחום, עמידות בפני זעזועים תרמיים ועמידות בפני שחיקה כימית, מתאים לאטמוספרות אינרטיות ולתנאי עבודה-קצר טווח-המכילים בטמפרטורה- גבוהה.
תנאי הפעלה רגילים: דרגת ואקום 10-3 עד 10-6 Pa; טמפרטורת הפעלה-לטווח ארוך באווירת ואקום/ארגון/חנקן היא 1800 עד 2200 מעלות; גרפיט לא מצופה הוא פחות או שווה ל-450 מעלות בסביבה אטמוספרית, בעוד שהדגם המצופה SiC/BN יכול לעמוד בטמפרטורות אטמוספריות של עד 1800 מעלות.
טבעת תומכת: נושאת את כור היתוך הגרפיט, כיסוי הבידוד, גוף החימום ורכיבי שדה תרמיים אחרים, נושאת את העומס וממקמת אותם, ומונעת עיוות-בטמפרטורה גבוהה;
טבעת מנחה: מגבילה את התזוזה הרדיאלית של מוט הקריסטל, מוט ההולכה ומנגנון ההרמה, ומבטיחה קואקסיאליות ויציבות הפעולה;
טבעת איטום: מפרידה את הגז בתוך ומחוץ לתנור, שומרת על דרגת הוואקום של גוף התנור, מחולקת לאיטום סטטי (אוגן / דלת תנור) ואיטום דינמי (פיר שידור);
טבעת בידוד חום: חוסמת קרינת חום והולכת חום, מפחיתה את הפרש הטמפרטורות של גוף התנור, מורידה את עליית הטמפרטורה של מעטפת התנור, וחוסכת אנרגיה ומפחיתה את הצריכה;
טבעת לחץ / טבעת נעילה: לוחצת על שכבת הבידוד ואטם האיטום, מהדקת את כל מבנה השדה התרמי.
סיווגי חומרים עיקריים ותרחישים ישימים
טבעת גרפיט לחיצה איזוסטטית-בטוהר גבוה (עבור יישומי ואקום מתקדמים-)
הוא נוצר בכבישה איזוסטטית קרה, עם תכולת פחמן קבועה גדולה או שווה ל-99.95% (4N) / 99.999% (5N). גרגרי הגביש עדינים, המבנה איזוטרופי והנקבוביות נמוכה ביותר. נפח פליטת הוואקום נמוך במיוחד, אין משקעים של זיהומים, דיוק הממדים והיציבות התרמית הם הטובים ביותר. הוא משמש בעיקר בציוד-מתקדם כגון מוליכים למחצה, תנורים פוטו-וולטאיים חד-גבישים ותנורים לטיפול בחום אולטרה-גבוה.
טבעת גרפיט צפופה ספוג (דגם כללי תעשייתי)
בלוק הגרפיט הבסיסי ספוג ואטום בשרף/אספלט כדי לחסום מיקרו-נקבוביות, מה שמשפר משמעותית את אטימות האוויר ואת יכולת האנטי-חדירה. יש לו ביצועים בעלות גבוהה. הוא מתאים לתנורי סינטר ואקום קונבנציונליים, תנורי מרווה, תנורי אבקת מתכות, והוא הדגם הכללי הנפוץ ביותר בתחום התעשייתי.
עקרון עבודה
תמיכה מבנית: תוך ניצול מאפייני הצפיפות הגבוהה והחוזק הגבוה של גרפיט, הוא יכול לשאת ולמקם עומסים ביציבות בטמפרטורות גבוהות, תוך שמירה על הריכוזיות של מבנה הציוד;
איטום ואקום: מצע הגרפיט הצפוף בשילוב עם תהליך ההספגה אוטם את המיקרו-נקבוביות, מפחית את קצב חדירות הגז, ובשילוב עם המבנה הגמיש, משיג איטום ואקום לטווח ארוך-;
בקרת שדה תרמי: על ידי ניצול המוליכות התרמית הגבוהה ומאפייני ההתפשטות הנמוכים של גרפיט, הוא יכול לאזן את שדה הטמפרטורה בתוך הכבשן, תוך חסימת העברת חום, השגת בידוד ושימור חום;
הגנה נקייה: החומר בעל הטוהר הגבוה ביותר-לא מניד או משחרר זיהומי מתכת בטמפרטורות גבוהות, ומגן על חלק העבודה מפני זיהום;
איטום דינמי-שמן עצמי: תכונת הסיכה העצמית-השכבתית הטבעית של גרפיט, בסביבת ואקום, אין צורך בשמן סיכה, ורכיבי ההילוכים לא ירתכו בקור או ינשכו זה בזה.
תכונות ליבה של ביצועים
יתרונות ליבה כלליים (בהשוואה לגומי, PTFE, אביזרי מתכת)
עמידות בחום גבוהה במיוחד, עם יציבות תרמית חזקה במיוחד
עמידות לטמפרטורה-לטווח ארוך של 1800~2200 מעלות בוואקום/אטמוספרה אינרטית, עם טמפרטורה מקסימלית-לטווח קצר שמגיעה ל-2800 מעלות; מקדם התפשטות תרמית נמוך במיוחד, ללא עיוות, סדקים או זחילה תחת חימום וקירור חוזרים ונשנים או הלם תרמי חמור.
השוואה: לגומי ול-PTFE יש עמידות לטמפרטורה מקסימלית של כ-200 מעלות בלבד, והם יתפחמו במהירות ויכשלו בטמפרטורות גבוהות; אביזרי מתכת יתרככו, יתעוותו ויעברו דפורמציה קבועה מעל 600 מעלות.
תכונות ליבה של ביצועים
סיכה עצמית- ונגד-הידבקות, פעולה חלקה של אטמים דינמיים
לגרפיט יש באופן טבעי תכונות סיכה עצמית-. בסביבה נטולת שמן ואקום, ציר ההילוכים והחלקים הנעים אינם מרותכים בקור או נצמדים זה לזה, בעלי בלאי מינימלי ומפחיתים משמעותית את שיעורי התקלות בציוד ועלויות התחזוקה.
עמידות בפני זעזועים תרמיים יוצאי דופן, חיי שירות ארוכים
יכול לעמוד במחזורים תרמיים תכופים של 20 מעלות ↔ 1600 מעלות, עם יותר מ-50 מחזורים ללא סדקים או בעיות סיגים; ללא פגמי הזדקנות או התקשות של גומי או חומרים פלסטיים. הוא שומר על ביצועים יציבים בתנאי טמפרטורה-גבוהים-לטווח ארוך ויש לו מחזור החלפה ארוך בהרבה מאשר אביזרים מסורתיים.
מדריך בחירה פשוט
ואקום אולטרה-גבוה (10-5-10-6 Pa) + מוליכים למחצה / פוטו-וולטאיים תהליך טוהר- גבוה → 5N גבוה- טבעת גרפיט איזוסטטית בטוהר
תנור ואקום תעשייתי קונבנציונלי, תנור סינטר (10-3~10-4 Pa) → טבעת גרפיט צפופה ספוג
תנאי-טמפרטורה גבוהים, מגע- קצר טווח עם אוויר, נוטה לתרחישי חמצון / דבק → טבעת גרפיט מצופה SiC/BN
דלת תנור, אוגן גדול-בקוטר, בעיקר לדרישות איטום → טבעת גרפיט גמישה
| פָּרִיט | טבעת גרפיט איזוסטטית-בטוהר גבוה | טבעת גרפיט ספוג | טבעת גרפיט מצופה SiC/BN | טבעת גרפיט גמישה | מצב מבחן |
|---|---|---|---|---|---|
| פחמן קבוע | גדול או שווה ל-99.95% / 99.999% | גדול או שווה ל-99.9% | גדול או שווה ל-99.95% | גדול או שווה ל-98.5% | טמפ' חדר. |
| צפיפות נפח (g/cm³) | 1.85 ~ 1.95 | 1.75 ~ 1.85 | 1.88 ~ 1.92 | 1.10 ~ 1.40 | טמפ' חדר. |
| נקבוביות לכאורה | פחות או שווה ל-1.5% | פחות או שווה ל-3.0% | פחות או שווה ל-1.5% | - | RT |
| תוכן אפר | פחות או שווה ל-10 ~ 50 עמודים לדקה | פחות או שווה ל-100 עמודים לדקה | פחות או שווה ל-50 עמודים לדקה | פחות או שווה ל-500 עמודים לדקה | RT |
| טמפ' רציפה. (וואקום/אינרטי) | 2200 מעלות | 2100 מעלות | 2200 מעלות | 1800 מעלות | Ar / N₂ |
| טמפ' מקסימלית (אֲוִיר) | פחות או שווה ל-450 מעלות | פחות או שווה ל-420 מעלות | פחות או שווה ל-1800 מעלות | פחות או שווה ל-380 מעלות | אַטמוֹספֵרָה |
| CTE (25~1500 מעלות) | 4.0 ~ 4.8×10-6/מעלה | 4.2 ~ 5.0×10-6/מעלה | 4.1 ~ 4.9×10-6/מעלה | 4.5 ~ 5.2×10-6/מעלה | / תואר |
| שיעור דליפת גז | פחות או שווה ל | פחות או שווה ל | פחות או שווה ל | פחות או שווה ל | ואקום גבוה |
| חוזק כפיפה (MPa) | גדול או שווה ל-45 | גדול או שווה ל-30 | גדול או שווה ל-42 | - | RT |
| גודל גרגר | פחות או שווה ל-10 מיקרומטר | פחות או שווה ל-15 מיקרומטר | פחות או שווה ל-10 מיקרומטר | - | RT |
| סובלנות לעיבוד שבבי | ±0.01 מ"מ | ±0.02 מ"מ | ±0.01 מ"מ | - | RT |
תגיות פופולריות: טבעת גרפיט לכבשן ואקום / טבעת גרפיט-בטמפרטורה גבוהה, סין טבעת גרפיט לכבשן ואקום / טבעת גרפיט בטמפרטורה גבוהה-יצרנים, ספקים, מפעל
