אלקטרודות גרפיט לייצור מעגלים משולבים
Jincheng Graphite, כיצרנית מקצועית של מוצרי גרפיט, מספקת אלקטרודות גרפיט בעלות מוליכות גבוהה ויציבות תרמית גבוהה לייצור מעגלים משולבים. אלקטרודות אלו תוכננו במיוחד עבור תהליכי מפתח כגון ליתוגרפיה, תחריט ותצהיר, וכוללות יכולות עיבוד דיוק גבוהות, חיי שירות ארוכים ומתח תרמי נמוך. הם נמצאים בשימוש נרחב בתעשיית ייצור המוליכים למחצה המתקדמים-.
יתרון ליבה
מוליכות גבוהה ויציבות תרמית
תוך שימוש במצעי גרפיט בטוהר- גבוה ובשילוב טכנולוגיית טיפול פני השטח בקנה מידה ננומטרי, המוליכות מגיעה ליותר או שווה ל-10^5 S/m, ומקדם ההתפשטות התרמית הוא פחות או שווה ל-3.5×10⁻⁶/מעלה. זה מבטיח יציבות מבנית במהלך תהליכי-טמפרטורות גבוהות ומונע עיוות תרמי של פרוסות.
תאימות עיבוד מדויק
באמצעות חיתוך לייזר, תחריט פלזמה וכו', הוא תומך בעובי אלקטרודות שנע בין 0.05 ל-3 מ"מ ובגיאומטריות מורכבות מותאמות אישית, המתאימים לציוד לעיבוד פרוסות לתהליכים מתקדמים של 5 ננומטר ומטה, העומד בדרישות ליישור דיוק- גבוה.
עמידות בפני קורוזיה ועמידות בפני שחיקה
המשטח עובר טיפול פסיבציה כימית. הוא עובר מבחני קורוזיה חומצה חזקה עם HF, HNO₃ וכו', ויכול לעמוד בטמפרטורות של עד 1500 מעלות ומעלה, מה שמאריך משמעותית את תוחלת החיים של האלקטרודות ומפחית את הסיכון להפרעות בתהליך.
תרחיש יישום
אלקטרודות גרפיט המשמשות בייצור מעגלים משולבים נמצאים בשימוש נרחב בתהליכי מפתח כגון תחריט פלזמה (לעיבוד תעלות תת--מיקרוניות עמוקות), שקיעת אדים כימית (CVD) ותצהיר אדים פיזיקלי (PVD). תכונת הלחץ התרמי הנמוך שלהם יכולה למנוע ביעילות פגמים הנגרמים מהתפשטות תרמית לא אחידה של פרוסות, להגדיל את התפוקה של-שבבים גבוהים ליותר מ-99.8%, ולעזור להשיג מזעור ושילוב בצפיפות- גבוהה של תהליכי ייצור שבבים.
מפרט טכני
| מוליכות חשמלית | גדול או שווה ל-10^5 S/m (בטמפרטורת החדר) |
| מקדם התפשטות תרמית | פחות או שווה ל-3.5 × 10⁻⁶/מעלה |
| חספוס פני השטח | Ra פחות או שווה ל-0.2 מיקרומטר |
| עמידות בפני קורוזיה | עבר בדיקות בחומצות חזקות, אלקליות חזקות וסביבות פלזמה |
| חוזק מכני | חוזק לחיצה גדול או שווה ל-120 MPa |
אבטחת איכות גרפיט Jincheng
Jincheng Graphite עוסקת באופן עמוק בתחום מוצרי הגרפיט כבר 18 שנים. יש לה זכויות קניין רוחני עצמאיות משלה עבור טכנולוגיית סינטר-בטמפרטורה נמוכה והסמכת מערכת ניהול איכות ISO9001. הוא שולט בקפדנות על כל התהליך מטיהור חומרי גלם (טוהר גדול מ-99.99% או שווה ל-99.99%), יציקה ולחיצה ועד סינון בטמפרטורה- גבוהה כדי להבטיח שהמוצרים עומדים בדרישות המחמירות של תעשיית המוליכים למחצה לניקיון (דרגת ISO 4), יציבות תרמית (±0.5 מעלות ) ושטוחות פני השטח (0.5 מעלות ) או שטוחות פני השטח (פחות מ-1 מ"מ).
מחויבות לשיתוף פעולה
Jincheng Graphite מציע בדיקות לדוגמה בחינם, תגובה טכנית של 72-שעות ותמיכה בייצור ניסיון בקנה מידה קטן-. הוא יכול להתאים אישית את ממדי האלקטרודות, פרמטרי ביצועים מוליכים ותוכניות טיפול פני השטח בהתאם לדרישות התהליך של הלקוח. היא מחויבת לספק פתרונות אלקטרודות גרפיט בעלי ביצועים גבוהים ואמינים עבור ארגוני מוליכים למחצה גלובליים. עם טכנולוגיה מקצועית, אספקה מהירה וחדשנות מתמשכת, היא הפכה לשותף ליבה בתחום הניהול התרמי ועיבוד דיוק בייצור מעגלים משולבים.
תגיות פופולריות: אלקטרודות גרפיט לייצור IC, סין אלקטרודות גרפיט לייצור IC יצרנים, ספקים, מפעל
