גרפיט לייצור רקיק

תוך שימוש בגרפיט בטוהר- גבוה (עם תכולת פחמן של יותר או שווה ל-99.99%) ובתהליך מרוכב מתכת, המוליכות התרמית מגיעה לעד 300 W/m·K, מה שמבטיח טמפרטורה אחידה על משטח הפרוסים ומפחית את הסיכון לעיוות הנגרם על ידי מתח תרמי.

סובל טווח טמפרטורות קיצוני של -200 מעלות עד 3000 מעלות, מתאים לתהליכי ואקום כגון ליתוגרפיה ותחריט, ובעל עמידות מצוינת בפני קורוזיה, תואם גזים כימיים כגון מימן וחנקן.

תמיכה בגדלים שונים של פרוסות (כגון 12 אינץ' ו-8 אינץ') ותהליכי טיפול מיוחדים במשטח, העומדים בדרישות מדויקות עבור תרחישים שונים של ייצור מוליכים למחצה.

במהלך היישום של photoresist, מנשא הגרפיט מספק סביבת חלוקה תרמית יציבה, ומפחית את בעיות העיוות של הפרוסה הנגרמות על ידי הפרשי טמפרטורה.

במהלך תחריט פלזמה, המוליכות התרמית הגבוהה של הנשא יכולה לפזר חום במהירות, ולהגן על משטח הפרוסה מפני נזק שנגרם על ידי טמפרטורות גבוהות.

תואם עם CVD, PVD ותהליכים אחרים, מבטיח שהרקיק שומר על שטוחות במהלך שקיעת-טמפרטורות גבוהות ומשפר את קצב התפוקה.